Lits'ebetso tse Ikhethileng tsa Lisebelisoa tsa Plasma

Mechini ea ho hloekisa plasma / etching e hlahisa plasma ka ho beha li-electrode tse peli ka sejaneng se tiisitsoeng ho etsa sebaka sa motlakase. Pompo ea vacuum e sebelisoa ho boloka boemo bo itseng ba vacuum. Ha khase e ntse e eketseha ka seoelo, sebaka se pakeng tsa limolek'hule le ho tsamaea ka bolokolohi ha limolek'hule kapa li-ion le tsona lia eketseha. Tlas'a tšusumetso ea sebaka sa motlakase, li-ion tsena lia thulana ebe li etsa plasma. Li-ion tsena li sebetsa haholo, li na le matla a lekaneng ho senya hoo e batlang e le lik'hemik'hale tsohle tsa lik'hemik'hale, 'me li susumetsa lik'hemik'hale sebakeng leha e le sefe se pepeneneng. Li-plasma tse fapaneng tsa khase li na le likarolo tse fapaneng tsa lik'hemik'hale. Ka mohlala, plasma ea oksijene e na le oxidizing haholo, e khonang ho oxidizing photoresist ho hlahisa khase, kahoo e finyella phello ea ho hloekisa. Plasma ea khase e senyang e na le anisotropy e ntle haholo, e fihlelang litlhoko tsa etching. Kalafo ea plasma e hlahisa khanya, ka hona lebitso la ho tsoa ha khanya.
Mochine oa ho hloekisa plasma o itšetleha haholo ka "ts'ebetso" ea likaroloana tse sebetsang ka har'a plasma ho tlosa matheba a holim'a metsi. Mabapi le mokhoa oa ho itšoara, ho hloekisa plasma ka kakaretso ho kenyelletsa ts'ebetso e latelang: likhase tse sa tloaelehang li thabela boemo ba plasma; lintho tse gaseous li adsorbed holim'a metsi a tiileng; lihlopha tsa adsorbed li itšoara ka limolek'hule sebakeng se tiileng ho etsa limolek'hule tsa lihlahisoa; limolek'hule tsa sehlahisoa li senyeha ho ea karolong ea khase; 'me masala a karabelo a tlosoa holimo.

Ntho ea bohlokoa ka ho fetisisa ea theknoloji ea ho hloekisa plasma ke hore e ka tšoara mofuta ofe kapa ofe oa substrate, ho akarelletsa le tšepe, semiconductors, oxides, le lisebelisoa tse ngata tsa polymer tse kang polypropylene, polyester, polyimide, polyvinyl chloride, epoxy, esita le polytetrafluoroethylene. E ka hloekisa ka bobeli holim'a metsi le libaka tse khethehileng, hammoho le mehaho e rarahaneng.