Matla a Plasma Etcher a Feletsoe

Plasma Etcher Power Basics
Matla a plasma etcher a tšoana le accelerator ea koloi, e khethollang ka ho toba lebelo le botebo ba etching. Ha matla a ntse a le holimo, ho ba le sekhahla se seholo sa plasma le ho potlaka ho potlakisa sekhahla. Leha ho le joalo, matla a phahameng hase kamehla a molemo; e hloka ho lokisoa ho ipapisitsoe le litlhoko tsa lisebelisoa le ts'ebetso.

Matla a tlase (100-300W): E loketse bakeng sa etching e ntle mme e fokotsa tšenyo ea thepa.

Matla a mahareng (300-600W): E leka-lekanya sekhahla le khetho.

Matla a phahameng (600W le ka holimo): A sebelisetsoa ho tlosa lintho tse ngata ka potlako.

Tšusumetso ea Matla ho Etching Liphetho

Liphetoho tse nyane tsa matla li ka lebisa ho phapano e kholo ho sephetho sa etching:

Sekhahla sa Etching: Keketseho e 'ngoe le e' ngoe ea 100W ea matla e eketsa sekhahla ka hoo e ka bang 15-20%.

Khetho: Matla a feteletseng a ka fokotsa tšireletso ea mask.

Uniformity: Ho feto-fetoha ha matla ho ka lebisa botebong bo sa tsitsang ba etching.

Byproducts: Matla a ama k'hemistri ea plasma, a fetola mefuta ea lihlahisoa.

Lintlha tsa Bohlokoa ho Ntlafatso ea Matla

Ho fumana liphetho tse ntle ka ho fetesisa, lintlha tse latelang li tlameha ho nahanoa:

Mofuta oa khase: Likhase tse fapaneng li hloka mofuta o itseng oa matla.

Khatello ea kamore: Liphetoho tsa khatello li hloka liphetoho tse tsamaellanang tsa matla.

Mocheso oa substrate: Matla a ka fokotsoa ha mocheso o ntse o phahama.

Electrode spacing: Ha sebaka se le senyane, matla a hlokahalang a tlase.